MONSTER PAC
世界初・世界唯一の MONSTER PACコアテクノロジー
従来の技術では、ウエハ(チップ)側にバンプを形成していましたが、ウエハ工程での作り込みが必要であり、対応する設備も前工程用のものが求められます。そのため、工期が長くなり、コストも高くなるという欠点がありました。また、バンプ材料がはんだであるため、基板との接合には260℃~270℃という高温と高い荷重が必要でした。このため、物理的なダメージに対して脆弱なLow-kデバイスやMEMSチップに深刻な影響を与える可能性がありました。
これらの問題を解決したのが、MONSTER PACです。
導電ペーストバンプを基板上に形成します
基板等の材料側にバンプを形成し、接合は導電性ペーストによって行います。
プロセスフロー
世界唯一の低温接合プロセス
PETフイルム基板のようなフレキシブルあるいはストレッチャブル基板に実装できる世界唯一の製造プロセスです。